国家知识产权局信息显示,盖泽精密科技(苏州)有限公司取得一项名为“一种检测晶圆膜厚的光路结构”的专利,授权公告号CN223295393U,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,本实用新型提供一种检测晶圆膜厚的光路结构,包括光源、反射镜一、反射镜二、窗片、反射镜三、红外接收器,所述反射镜一与光源设置在同一水平直线的两端,所述窗片设于待检测的晶圆正上方,所述反射镜二与反射镜一并列设置,且两者设于窗片的上方两侧,且反射镜一到窗片的反射光与窗片到反射镜二的反射光之间的夹角为锐角;所述反射镜三与反射镜二设置在同一水平直线的两端,所述红外接收器设于反射镜三一侧,经光源发出的光依次经反射镜一、窗片、反射镜二、反射镜三反射后被红外接收器接收。
天眼查资料显示,盖泽精密科技(苏州)有限公司,成立于2021年,位于苏州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本902.1441万人民币。通过天眼查大数据分析,盖泽精密科技(苏州)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息18条,专利信息27条,此外企业还拥有行政许可5个。
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